MOTT过滤器DEF515H系列技术参数
SPECIFICATIONS | |
Particle Removal Size: | ≥0.0015 μm |
Filter Efficiency (Log Reduction Value): | ≥9 LRV (99 999999% reduction in particles). Confirmed at the most penetrating particle size of 0.08 μm per SEMI F38-0699 test method |
Helium Leak Rating: | 1 x 10-9 atm cc/sec |
Moisture Contribution: | <10 ppb after 1 hour at low-flow ambient purge per SEMI F27 test method |
Total Hydrocarbons: | Below detectable limits per SEMASPEC 90120396B test method |
Particle Shedding: | Zero particle contribution above background (<1 particle/ft3) per SEMI F43-0308 test method |
MOTT过滤器DEF515H系列介绍
描述
Mott High Purity Defender 滤器提供9级颗粒过滤，过滤粒径低至0.0015微米，确保气体无颗粒。此外，高流量 Defender 滤器在体积紧凑的设计中提供大量过滤容量。高流量 Defender 设计每英寸线性长度能提供超过100标准升/分钟的气体过滤，是全球所有金属超高纯度（UHP）过滤器中过滤容量最大的产品。
应用领域
用于批量专用气体源输送系统的高流量UHP气体过滤，以及用于半导体设备连接的高流量气体棒。UHP过滤器广泛应用于阀组箱、气体柜、设备隔离气体箱、原始设备制造商（OEM）气体箱，以及公用事业和批量工艺气体线路中。
DESCRIPTION
Mott High Purity Defender Fiters provide 9-log Filtration of particles down to 0.0015 μm resulting in particle-free gas. In addition, High Flow Defender Filters provide large filtration capacity in a small compact foot print. The High Flow Defender is designed to provide over 100 slpm of gas filtration per linear inch. The most filtration capacity of any all-metal Ultra High Purity (UHP) filter in the world.
APPLICATIONS .
High Flow UHP gas filtration for bulk specialty gas source delivery systems, and high flow gas sticks for semiconductor tool hookup. UHP filtration in Valve manifold boxes, gas cabinets, tool isolation gas boxes, OEM gas boxes, and Utility and Bulk process gas lines.
MOTT过滤器DEF515H系列其他常用型号：
MOTT DXP331FF11
MOTT DEF315HFF33
MOTT DEF112TT11
MOTT DEF280FP11
MOTT DEF331FF11
MOTT GAS FILTERS NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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MOTT过滤器DEF515H系列DEF515HFF33技术参数及介绍
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